随着纳米科技及微加工领域的发展，对微米到纳米尺度范围的测试精度要求也越来越高，广东计量院紧紧围绕领域发展需要，针对性地开展实用性计量科研工作，实现了各种扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜、X射线衍射仪、等微纳精密分析仪器量值的准确溯源。
一是解决量传溯源问题。完成了国家质检总局科研项目“微纳米薄膜厚度的量值溯源及膜厚测量仪器校准技术研究”和省科技厅科研项目“微纳米尺度薄膜台阶标样及膜厚量传体系研究”，成功研制出微纳米线宽标准样板、纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度标准样品等，可用于扫描电子显微镜、扫描探针显微镜、X射线荧光测厚仪的校准。并在此基础上在国内率先建立扫描探针显微镜、X射线荧光测厚仪校准两项大区级计量标准，基本解决了华南地区该类微纳尺度仪器的溯源问题。
二是技术水平接轨国际基准。积极参与国家科技支撑计划项目“微纳技术计量标准和标准物质研究”，协助国家计量院开展计量型扫描电镜及双探针扫描探针显微镜标准测量装置的研究，在国内首次实现扫描电镜的测量结果直接溯源至国际米定义激光波长基准，同时利用双探针测量模式，突破探针显微镜的测量盲区，实现了真三维纳米结构的准确测量。
三是服务产业促转型升级。经校准的扫描电子显微镜、X射线荧光测厚仪等高端分析仪器，有利于促进企业控制产品质量、高效生产和研发。目前，已为华南地区的微电子、超精密加工、新材料以及汽车制造产业等领域共150多家企业提供了有效的量传溯源服务，为TCL王牌电器、深圳比亚迪汽车、广州本田汽车、鸿富晋精密工业等知名企业产品的转型升级提供了有效技术支撑。如国家级高新技术企业深圳华星光电在液晶显示面板的研发过程中存在精密元器件量值不确定的问题，一直没有攻关成功，后经广东计量院对其微观分析仪器进行了校准和溯源服务，确保仪器测量结果的准确可靠，促成了该企业高端液晶面板的开发。