灵敏度--仪器响应的变化除以对应的激励变化。它与激励变化的激励值（可能）有关。灵敏度指标是考察传感器的主要指标之一。
稳定性--仪器保持其计量特性随时间恒定的能力。通常稳定性是对时间而言。当对其他量（如电源电压波动、环境气压波动等）考虑稳定性时，则应明确说明。
可靠性--测量仪器在规定条件下和规定时间内，完成规定功能的能力，表示其定量指标，可以采用在其极限工作条件下的平均无故障工作时间MTBF来表示，这个指标越高，说明可靠性越好。